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真空鍍膜和光學鍍膜有什么差異
一、概念的差異
1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬資料,使其蒸騰并凝聚于鍍件(金屬、半導體或絕緣體)外表而構(gòu)成薄膜的一種辦法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
2、光學鍍膜是指在光學零件外表上鍍上一層(或多層)金屬(或介質(zhì))薄膜的工藝進程。在光學零件外表鍍膜的意圖是為了到達減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。
二、原理的差異
1、真空鍍膜是真空應用領(lǐng)域的一個重要方面,它是以真空技術(shù)為根底,使用物理或化學辦法,并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù),為科學研究和實際生產(chǎn)供給薄膜制備的一種新工藝。簡單地說,在真空中把金屬、合金或化合物進行蒸騰或濺射,使其在被涂覆的物體(稱基板、基片或基體)上凝聚并堆積的辦法。
2、光的干涉在薄膜光學中廣泛應用。光學薄膜技術(shù)的遍及辦法是憑借真空濺射的方式在玻璃基板上涂鍍薄膜,一般用來操控基板對入射光束的反射率和透過率,以滿意不同的需求。為了消除光學零件外表的反射丟失,進步成像質(zhì)量,涂鍍一層或多層通明介質(zhì)膜,稱為增透膜或減反射膜。
跟著激光技術(shù)的開展,對膜層的反射率和透過率有不同的要求,促進了多層高反射膜和寬帶增透膜的開展。為各種應用需求,使用高反射膜制作偏振反光膜、五顏六色分光膜、寒光膜和干涉濾光片等。光學零件外表鍍膜后,光在膜層層上屢次反射和透射,構(gòu)成多光束干涉,操控膜層的折射率和厚度,能夠得到不同的強度分布,這是干涉鍍膜的基本原理。
三、辦法和資料的差異
1、真空鍍膜的辦法資料:
(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,抽暇后將膜料加熱到高溫,使蒸氣到達約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體外表,凝聚而成薄膜。
(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰性氣體(如氬)通入已抽暇的室內(nèi),堅持壓強約1.33~13.3Pa,然后將陰極接上2000V的直流電源,便激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子碰擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛堆積到基體上構(gòu)成膜。
(3)化學氣相堆積:通過熱分化所選定的金屬化合物或有機化合物,獲得堆積薄膜的進程。
(4)離子鍍:實質(zhì)上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機結(jié)合,兼有兩者的工藝特色。表6-9列出了各種鍍膜辦法的優(yōu)缺點。
2、光學鍍膜辦法資料
(1)氟化鎂:無色四方晶系粉末,純度高,用其制備光學鍍膜可進步透過率,不出崩點。
(2)二氧化硅:無色通明晶體,熔點高,硬度大,化學穩(wěn)定性好。純度高,用其制備高質(zhì)量Si02鍍膜,蒸騰狀況好,不呈現(xiàn)崩點。按使用要求分為紫外、紅外及可見光用。
(3)氧化鋯:白色重質(zhì)結(jié)晶態(tài),具有高的折射率和耐高溫功能,化學性質(zhì)穩(wěn)定,純度高,用其制備高質(zhì)量氧化鋯鍍膜,不出崩點。