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1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
2、光學(xué)鍍膜是指在光學(xué)零件表面上鍍上一層(或多層)金屬(或介質(zhì))薄膜的工藝過程。在光學(xué)零件表面鍍膜的目的是為了達(dá)到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學(xué)鍍膜。
二、原理的區(qū)別
1、真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)重要方面,它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ),利用物理或化學(xué)方法,并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù),為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。簡單地說,在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射,使其在被涂覆的物體(稱基板、基片或基體)上凝固并沉積的方法。
薄膜材料生長在基體材料(如玻璃、光學(xué)玻璃等)上,通常由金屬、非金屬、合金或復(fù)合材料的涂層形成。它具有高滲透性、吸收性、截止性、光分離性、反射性、過濾性、干擾性、防護(hù)性、防水防污性、抗靜電性、導(dǎo)電性、導(dǎo)磁性、絕緣性、耐磨性。具有耐高溫、耐腐蝕、耐氧化、防輻射、裝飾重組等功能,可提高產(chǎn)品質(zhì)量、環(huán)保、節(jié)能、延長產(chǎn)品使用壽命。提高原有性能等。目前,薄膜的制備技術(shù)主要包括物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)。
薄膜材料生長于基板材料(如屏顯玻璃、光學(xué)玻璃等)之上,一般由金屬、非金屬、合金或化合物等材料經(jīng)過鍍膜后形成,具有增透、吸收、截止、分光、反射、濾光、干涉、保護(hù)、防水防污、防靜電、導(dǎo)電、導(dǎo)磁、絕緣、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、裝飾和復(fù)合等功能,并能夠提高產(chǎn)品質(zhì)量、環(huán)保、節(jié)能、延長產(chǎn)品壽命改善原有性能等。目前,薄膜材料制備技術(shù)主要包括物理氣相沉積(PVD)技術(shù)和化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)。