PVD 鍍膜材料主要用以制備各種具有特定功能的薄膜材料,應(yīng)用領(lǐng)域包括平板顯示、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池、光磁記錄媒體、 光學(xué)元器件、 節(jié)能玻璃、 LED、工具改性、高檔裝飾用品等。
薄膜材料生長(zhǎng)在基體材料(如玻璃、光學(xué)玻璃等)上,通常由金屬、非金屬、合金或復(fù)合材料的涂層形成。它具有高滲透性、吸收性、截止性、光分離性、反射性、過(guò)濾性、干擾性、防護(hù)性、防水防污性、抗靜電性、導(dǎo)電性、導(dǎo)磁性、絕緣性、耐磨性。具有耐高溫、耐腐蝕、耐氧化、防輻射、裝飾重組等功能,可提高產(chǎn)品質(zhì)量、環(huán)保、節(jié)能、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命。提高原有性能等。目前,薄膜的制備技術(shù)主要包括物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)。
薄膜材料生長(zhǎng)于基板材料(如屏顯玻璃、光學(xué)玻璃等)之上,一般由金屬、非金屬、合金或化合物等材料經(jīng)過(guò)鍍膜后形成,具有增透、吸收、截止、分光、反射、濾光、干涉、保護(hù)、防水防污、防靜電、導(dǎo)電、導(dǎo)磁、絕緣、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、裝飾和復(fù)合等功能,并能夠提高產(chǎn)品質(zhì)量、環(huán)保、節(jié)能、延長(zhǎng)產(chǎn)品壽命改善原有性能等。目前,薄膜材料制備技術(shù)主要包括物理氣相沉積(PVD)技術(shù)和化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)。
PVD 技術(shù)是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一,指在真空條件下采用物理方法,將某種物質(zhì)表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子,并通過(guò)低壓氣體(或等離子體)過(guò)程,在基板材料表面沉積具有某種特殊功能的薄膜材料的技術(shù)。在PVD 技術(shù)下,用于制備薄膜材料的物質(zhì),統(tǒng)稱為 PVD 鍍膜材料。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,PVD 技術(shù)已成為目前主流鍍膜方法,主要包括濺射鍍膜和真空蒸發(fā)鍍膜。
CVD 技術(shù)是在高溫下依靠化學(xué)反應(yīng)、把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜材料的技術(shù)