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真空鍍膜pvd的工藝流程？
真空鍍膜加工是一種常見的表面處理技術(shù)，廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、機(jī)械等行業(yè)中。下面是真空鍍膜PVD的工藝流程介紹。
1. 準(zhǔn)備工作
首先，需要對待鍍物進(jìn)行表面清潔和處理，以確保表面光潔度和粗糙度符合要求。同時，需要準(zhǔn)備鍍層材料和輔助材料，如靶材、保護(hù)膜、控制系統(tǒng)等。
2. 真空抽氣
將待鍍物和鍍層材料放置在真空室內(nèi)，進(jìn)行真空抽氣，以將室內(nèi)氣體抽出，降低室內(nèi)壓力，創(chuàng)造真空環(huán)境。真空抽氣需要控制抽氣速度和壓力，以防止待鍍物表面的氧化和污染。
3. 靶材燒結(jié)
在真空室內(nèi)，將所需的鍍層材料制成靶材，進(jìn)行燒結(jié)處理，以提高材料的密度和純度，并保證靶材的穩(wěn)定性和耐久性。
4. 靶材鍍膜
將靶材放置在鍍膜設(shè)備中，并通過電子束、離子束或熱蒸發(fā)等方式，將靶材材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，形成氣體束，沉積在待鍍物表面，形成鍍層。鍍膜過程需要控制氣體流量、功率、時間等參數(shù)，以獲得所需的鍍層厚度和質(zhì)量。
